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阿迈得气动隔膜泵,半导体生产的理想解决方案
发布于:2024-03-05 14:06:21   
摘要:在芯片制造的工艺环节中,需要处理和转移多种不同类型的高纯度化学品,其中许多化学品是具有强腐蚀性的,例如硫酸(H2SO4)、盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4)、氢氟酸(HF)和过氧化氢(H2O2)。

在芯片制造的工艺环节中,需要处理和转移多种不同类型的高纯度化学品,其中许多化学品是具有强腐蚀性的,例如硫酸(H2SO4)、盐酸(HCl)、硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4)、氢氟酸(HF)和过氧化氢(H2O2)

概括而言,这些化学品在芯片制造的主要工序中大致需要被传输两次:首先,它们被泵入各种清洗、涂层、蚀刻、剥离、沉积和化学机械平坦化的工艺过程,将晶圆变成实际的芯片;其次,将使用后的化学品移除到废水中和中和处理及处置过程。

应用条件


在半导体生产过程中,对用于化学品和废水运输的工业泵的要求是特定的和严格的:

  • 能够自吸并维持较高流量

  • 能够处理不同粘度的液体

  • 某些特定工况中能够处理最高达200°C的液体

  • 能够泵送带有磨料颗粒的液体

  • 能够泵送具有腐蚀性、有毒的危险液体

考虑到这些关键因素,气动双隔膜(AODD)泵,已经成为半导体制造商在优化化学品和废水运输活动方面的首选。源于德国的Almatec®提供了两种气动隔膜泵的产品线:E系列和FUTUR系列,可以满足半导体制造商的需求。

FUTUR 系列

对于高纯度化学品的转移,Almatec® FUTUR 系列 AODD 泵经过德国工程团队的精心设计,使液体可以直接流过中心壳体内的产品腔室。这种设计确保只有壳体的一侧与液体接触,从而将流动弯头数量减少到只有两个,同时降低表面积,消除了在产品腔室内使用滑动部件以及在浸润区域使用O型圈的需要。FUTUR 泵还具有无紧固元件,如拉杆或卡箍,产品腔室之间无接触级联密封有助于提高泵的结构完整性。所有这些设计改进都有助于在泵操作过程中减少颗粒物的产生。



FUTUR系列提供四种型号,用于不同的半导体生产应用:

FUTUR T

具有更强的抗腐蚀性能和高拉伸强度,适用于处理酸和碱液。

FUTUR H:

适用于高温(最高200℃)下处理酸和碱液的应用。

FUTUR E:

具有抗磨损性能,适用于处理半导体抛光液和化学机械研磨(CMP)。

FUTUR S/SH:

由实心316L不锈钢制成,适用于溶剂混合物和去除剂的使用。

E系列

在半导体制造中的废水处理方面,Almatec®提供了 E 系列气动隔膜泵,E系列基于Almatec最初于1984年推出的A-Series模型,经过40多年不断迭代优化,在行业内一直被认为是领先的塑料AODD泵。E系列设计中采用了创新的环形紧固结构;通过优化的流动模式增加了流量容量;降低了空气消耗量和噪音水平;并且可选脉动阻尼器以提供更为稳定的流体传输。

E系列泵的特点和优点包括:

  • 创新采用PE/PE导电或PTFE/PTFE导电的坚固塑料块结构

  • 更具流体特性的多种膜片材质选择

  • 具备自吸和低剪切力的流体传输

  • 壳体螺栓紧固在与隔膜大小相同的环形上,将螺栓力分散开,并允许更高的螺栓扭矩

  • 没有传动、旋转部件或轴封

  • PERSWING P®气控系统无需润滑或额外维护

  • 通过CE,DIN EN ISO 9001:2008和DIN ISO 14001:2004认证

  • 可选ATEX认证泵型

在半导体制造中,Almatec® E系列和FUTUR系列气动隔膜泵可发挥关键作用,确保高效且可靠的运行。

如需了解更多Almatec®产品信息,请拨打服务热线 400 600 4026或发送邮件至PSG-China@psgdover.com。



气动隔膜泵
WILDEN隔膜泵                  ARO隔膜泵
SANDPIPER隔膜泵             ALMATEC隔膜泵
GRACO隔膜泵                   YAMADA隔膜泵

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